Stikstoftrifluoride (NF3) zeer zuiver gas
Basisinformatie
| CAS | 7783-54-2 |
| EC | 232-007-1 |
| UN | 2451 |
Wat is dit materiaal?
Stikstoftrifluoride (NF3) is een kleur- en geurloos gas bij kamertemperatuur en atmosferische druk. Het kan onder matige druk vloeibaar worden gemaakt. NF3 is stabiel onder normale omstandigheden en ontleedt niet gemakkelijk. Het kan echter ontleden bij blootstelling aan hoge temperaturen of in de aanwezigheid van bepaalde katalysatoren. NF3 heeft een hoog aardopwarmingsvermogen (GWP) wanneer het in de atmosfeer terechtkomt.
Waar dit materiaal gebruiken?
Reinigingsmiddel in de elektronica-industrie: NF3 wordt veel gebruikt als reinigingsmiddel voor het verwijderen van resterende verontreinigingen, zoals oxiden, van de oppervlakken van halfgeleiders, plasmadisplaypanelen (PDP's) en andere elektronische componenten. Het kan deze oppervlakken effectief reinigen zonder ze te beschadigen.
Etsgas bij de fabricage van halfgeleiders: NF3 wordt gebruikt als etsgas bij het productieproces van halfgeleiders. Het is bijzonder effectief bij het etsen van siliciumdioxide (SiO2) en siliciumnitride (Si3N4), twee veel voorkomende materialen die worden gebruikt bij de fabricage van geïntegreerde schakelingen.
Productie van hoogzuivere fluorverbindingen: NF3 is een waardevolle bron van fluor voor de productie van verschillende fluorhoudende verbindingen. Het wordt gebruikt als voorloper bij de productie van fluorpolymeren, fluorkoolwaterstoffen en speciale chemicaliën.
Plasmageneratie bij de productie van platte beeldschermen: NF3 wordt samen met andere gassen gebruikt om plasma te creëren bij de productie van platte beeldschermen, zoals liquid crystal displays (LCD's) en PDP's. Het plasma is essentieel bij de afzettings- en etsprocessen tijdens de paneelfabricage.
Houd er rekening mee dat specifieke toepassingen en voorschriften voor het gebruik van dit materiaal/product per land, branche en doel kunnen verschillen. Volg altijd de veiligheidsrichtlijnen en raadpleeg een deskundige voordat u dit materiaal/product in welke toepassing dan ook gebruikt.
